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真空艙體 W400 mm × H400 mm × D625 mm (100 升)
外形尺寸W600mm ×H1800mm ×D1000mm
* 分層(最多到10層) 電極-托盤
* 不銹鋼艙體
* 40KHz 射頻發生器
* 高效針孔電極
* 雙氣路，針閥
* 全自動控制
* 功率連續可調 0-2500W
* 自動阻抗匹配
* 電磁閥保護，回流油霧不能進入艙體
* 規格：W600 mm×H2200 mm× D800 mm
* 電源：AC 380V/50Hz
選裝件
* 13.56 MHz 射頻發生器 * 2.45 GHz 射頻發生器 * 旋轉圓筒艙體(適用于處理顆粒狀樣品)
配件選裝指南
• 13.56MHz射頻發生器 • 2.45GHz射頻發生器 • 半自動控制系統 • 全自動控制系統- 操作輕松簡便的控制系統
• 計算機(PC)控制系統 - 操作輕松簡便的控制系統同時可記錄處理的整個過程 • 附加氣體通路 • 自動真空艙門 • 設備自動門
• 條碼閱讀器 • 偏壓測量系統 • 碟型閥 • 排氣過濾系統 • 適用于腐蝕性氣體系統 • 艙體托盤可訂做 - 適合艙體的最佳尺寸
• 粉末處理裝置 • 法拉第容器 • 氣體供給系統 - 在等離子聚合過程中提供密度均勻的單體 • 玻璃艙體(硅酸鹽或石英)
• 預熱板 • 等離子測量傳感器 - 應用在等離子聚合過程和含腐蝕性環境中 • 真空泵抽氣入口過濾器 • 標簽打印機 • 標簽閱讀機
• 加深艙體 • 單體瓶- 輕松的控制不穩定的液體含量 • 網絡連接系統 • 聚合處理附件 • 氣瓶出氣減壓閥 • 石英玻璃皿
• 卷軸艙體系統- 適用于批量處理薄膜、箔等 • RIE電極(適用于刻蝕) • 旋轉艙體系統 - 適用于纖維、紡輪、顆粒狀等樣品的均勻、批量處理
• 安全閥
• 服務條約- 使用易燃、易爆性氣體，例如：氫氣、乙炔…
• 附加的配件
• 特殊的電極和托盤
• 特殊法蘭/附加法蘭
• 特殊軟件
• 特殊真空艙體
• 過程溫度測量
• 測試墨水(用于測試表面接觸角) • 真空泵系統
