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編號 項目 S48 32/HMT
1 流量規格 (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
2 調節閥類型 電磁調節閥
3 調節閥靜止狀態 常閉
4 安裝角度 任意
5 流量控制范圍 2%～
6 流量測量范圍 0～
7 響應時間 2s（T98，設定值的±2% F.S.）
8 工作環境溫度 5℃～50℃
9 精度溫度 15℃～35℃
10 精度 ±1.0%F.S.
11 線性精度 ±0.5%F.S.
12 重復性 ±0.2%F.S.
13 工作壓差 ～5L/min (50～300)kPa(D)
5L/min～10L/min (100～300)kPa(D)
30L/min～50L/min (150～300)kPa(D)
14 耐壓 3MPa
15 泄漏率 1×10-8 Pa?m3/s （He）
16 接觸氣體材料 316L,PTFE,Viton氟橡膠
17 管路接頭 Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″
18 供電電源 ±15VDC(±5%) 15V＜100mA,-15V＜150mA 24VDC(寬電壓 11～ 25V),
＜250mA( 24Vdc供電時)
19 設定信號 (0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ 4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V）
20 流量輸出信號 (0～5)VDC 負載能力≤3mA
21 電氣接頭 D-SUB15,D-SUB9
22 重量(kg) 0.9
