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超聲振動微雕刻裝置超聲波超聲波硬材料鉆孔超聲波加工是利用工具端面作超聲頻振動，通過磨料懸浮液加工硬脆材料的一種加工方法。
超聲波加工是磨料在超聲波振動作用下的機械撞擊和拋磨作用與超聲波空化作用的綜合結果，其中磨料的連續沖擊是主要的。加工時在工具頭與工件之間加入液體與磨料混合的懸浮液，并在工具頭振動方向加上一個不大的壓力，超聲波發生器產生的超聲頻電振蕩通過換能器轉變為超聲頻的機械振動，變幅桿將振幅放大到0.01～0.15mm，再傳給工具，并驅動工具端面作超聲振動，迫使懸浮液中的懸浮磨料在工具頭的超聲振動下以很大速度不斷撞擊拋磨被加工表面，把加工區域的材料粉碎成很細的微粒，從材料上被打擊下來。雖然每次打擊下來的材料不多，但由于每秒鐘打擊16000次以上，所以仍存在一定的加工速度。與此同時，懸浮液受工具端部的超聲振動作用而產生的液壓沖擊和空化現象促使液體鉆入被加工材料的隙裂處，加速了破壞作用，而液壓沖擊也使懸浮工作液在加工間隙中強迫循環，使變鈍的磨料及時得到更新。
