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激光切割的加工精度是由加工機性能、光束品質、加工現象而決定的整體精度。
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即使按照程序進行切割，也有加工產品無法滿足精度要求的情況。所以需要根據不同的情況采取對策。
1.加工產品的全體尺寸有變化
這是由于切口上激光焦點直徑和其周圍燃燒區域形成的切口寬度所影響的。
雖然在相同條件下，對相同的加工物，使用同一偏置補償值可以確保其精度，但是焦點位置的設定要憑借加工機操作人員的感覺來確定，而且熱透鏡作用也會造成焦點位置的變化，所以需要定期檢查的偏置補償值。
2．加工方向(部分)上的尺寸誤差有差別
板材上部的尺寸精度與尺寸精度有不同的情況。這個現象要考慮兩方面的原因。首先，光束圓度和強度分布不均一，造成切口寬度沿加工方向有所不同。解決的方法是進行光軸調整或清洗光學部件。其次，被加工物受熱膨脹會引起加工形狀長方向尺寸變短的情況。
3．翹曲引起的變化
尺寸精度雖然在要求范圍內，但由于熱變形等原因會造成發生翹曲。加工鋁、銅、不銹鋼等時非常，它受到線膨脹系數、熱容量等物性的影響。就加工形狀來說，縱橫比越大，翹曲量就越大。采用低熱量加工條件以及加工線路等在加工程序上下工夫，但還沒有完全解決問題。
加工板件所擁有的殘留應力對翹曲和尺寸誤差也有影響，所以我們需要對加工程序始終保持一定的配置方向。
4．間距精度變化
加工很多孔時，孔與孔之間的間距精度會出現偏差。由于在熱膨脹情況下開孔，冷卻收縮后，間距變小。我們可以在程序中補正收縮部分的精度或者靈活運用形狀縮放功能。無論情況，都要在初期加工后，測定其加工尺寸，補誤差。當間隔精度不隨加工位置而變化，而是在整個加工區里都惡化時，其原因是機械精度的惡化而造成的。
5．圓度變化
在激光加工中加工孔切割面產生坡度是無法避免的，下面直徑比背面直徑大，一般都評估背面稍小一側的圓度。
