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為濾層反沖洗后具有足夠的清潔度，又能接近均質狀態，目前理想的辦法是采用氣、氣水、水的三段式氣水反沖洗技術。近年來，國內不少人對氣水反沖洗進行了較為深人的研究。幾乎所有文獻都認為三段式氣水反沖洗比二段式氣水反沖洗更為理想，并從機理上進行了探索，本文在此不作贅述。
在濾池充水并在濾床層面上保有一定水深條件下先進行單獨氣沖，一方面通過濾料顆粒間相互磨擦使濾料上粘附的污泥脫落，一方面達到使濾層攪動為均質的目的。經過一段時間的氣沖后，不停氣且氣沖強度無須改變的同時加入水沖，水沖強度很小，只要能使脫落的污泥在合宜的時間內升至排水槽即可。氣水聯合反沖是能否使濾層潔凈的關鍵。單獨氣沖時脫落的污泥在此階段因氣沖保持濾層流化狀態下加上水沖被有效地托至上層。第三階段停止氣沖，濾料回落為固定床，使脫落的污泥滯留在上層，隨后的水沖只是漂洗過程，主要是將上層的高濃度泥水托出濾池，同時進一步清除濾層中剩余的脫落污泥，使濾層達到較徹底的凈化。后的水沖洗應遵循二條原則，一是不使均質濾層狀態受到破壞，二是按沖洗要求要能夠使濾層中剩余的脫落污泥被有效地去除。
