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工藝由以下部分組成：預處理、二級反滲透（DRO）、連續電除鹽（EDI）、紫外線殺菌（UV）、拋光混床（MB）、終端微濾（MF）。
超水設備預處理部分由多介質過濾器、活性炭過濾器和全自動軟水器、加藥裝置等組成。
超水設備RO反滲透：是一種低能耗、率的膜分離技術，主要應用于水制備、濃縮提取及海水淡化。反滲透技術是利用壓力差為動力的膜分離過濾技術，通過膜的選擇型將H2O與水中的無機鹽、重金屬離子、有機物、膠體、細菌、病毒等雜質分離。
超水設備EDI：是一種將離子交換技術和電滲析技術相融合為一體的先進技術，在直流電場的作用下實現離子的定向遷移，系統通過直流電場通過陰、陽離子交換膜對陰、陽離子的選擇性透過以及離子交換樹脂對離子的交換作用，加上水分自生電解成H OH-來完成樹脂連續不斷的自動再生，從而完成水的深度除鹽，系統無需停機使用酸堿再生樹脂，從而能連續制取高品質水。
超水設備混床：是將陰、陽樹脂按一定比例（一般2:1）裝置填在同一交換器中，運行前將它他混合均勻。此時當原水通過混合離子交換床后，所產生的氫離子和氫氧根離子立即生成溶解度很低的水。作為工藝終端超化裝置，可將終端出水電阻率提升到18MΩ.㎝以上，滿足用戶高品質用水需求。
